赤外線カメラと赤外線サーモグラフィのケン・オートメーション

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ISIS社

ISIS社が持つ特許SCI(Spectral Coherence Interference)技法による高精度な測定・検査装置


多層膜厚測定装置・半導体基板(ウェーハ)表面検査装置
F-Dex with StraDex f

StraDex 多層膜厚測定装置

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半導体基板(ウェーハ)表面検査装置
SemDex300

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非接触内径形状測定装置
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i Dex 非接触内径形状測定装置

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