赤外線カメラと赤外線サーモグラフィのケン・オートメーション

株式会社ケン・オートメーション
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赤外線カメラを用いた測定・監視装置
非破壊検査装置
3次元測定装置
圧力分布計測装置
非接触光干渉測定検査装置

SemDex半導体基板(ウェーハ)表面検査装置
SemDex 300シリーズ
自動検査装置
SemDex 100シリーズ
卓上型手動検査装置
DemDex 300シリーズ自動検査装置
SemDex 100シリーズ卓上型手動検査装置
検査項目
  層厚検査:  最少 3μm
  ゆがみ/そり検査 ライン  2D画像表示
 3Dトポロジー画像表示
 グラフ表示
  フラットネス検査
  徴細な凹凸検査
  表面粗さ検査
 
検査事例
サブストレイト層厚
2D画像
サブストレイト層厚
グラフ
サブストレイト層厚2D画像
サブストレイト層厚グラフ

ラウンドバンプ
3Dトポロジー画像
スクウェアパンプ
3Dトポロジー画像
ラウンドバンプ3Dトポロジー画像
スクウェアパンプ3Dトポロジー画像

SemDex仕様
  SemDex 301 SemDex 310 SemDex 101 SemDex 110
アプリケーション
ウェハー
2Dステージ
オプション
システム
測定仕様

Stra Dex多層膜厚測定i Dex非接触内径形状測定装置ページのTOPへ

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