赤外線カメラと赤外線サーモグラフィのケン・オートメーション

株式会社ケン・オートメーション
特殊用途インデックス
圧力分布測定装置
シート・タイヤ圧力分布測定装置
非接触光干渉膜厚測定装置
StraDex 多層膜厚測定装置
SemDex 半導体基板(ウェーハ)表面・層厚検査装置
ゴム硬度計
マイクロゴム硬度計
その他の製品情報
サーモグラフィ
内部欠陥検査
表面検査
形状測定・測長

SemDex半導体基板(ウェーハ)表面・層厚検査装置
SemDex 300シリーズ
自動検査装置
SemDex 100シリーズ
卓上型手動検査装置
DemDex 300シリーズ自動検査装置
SemDex 100シリーズ卓上型手動検査装置
検査項目
  層厚検査:  最少 3μm
  ゆがみ/そり検査 ライン  2D画像表示
 3Dトポロジー画像表示
 グラフ表示
  フラットネス検査
  徴細な凹凸検査
  表面粗さ検査
 
検査事例
サブストレイト層厚
2D画像
サブストレイト層厚
グラフ
サブストレイト層厚2D画像
サブストレイト層厚グラフ

ラウンドバンプ
3Dトポロジー画像
スクウェアパンプ
3Dトポロジー画像
ラウンドバンプ3Dトポロジー画像
スクウェアパンプ3Dトポロジー画像

SemDex仕様
  SemDex 301 SemDex 310 SemDex 101 SemDex 110
アプリケーション
ウェハー
2Dステージ
オプション
システム
測定仕様

Stra Dex多層膜厚測定i Dex非接触内径形状測定装置ページのTOPへ

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