SemDex 100シリーズ卓上型手動検査装置 SemDex 300シリーズ自動検査装置

sentronics社が持つ特許SCI技法による
高精度な測定・検査装置

※Spectral Coherence Interference

THE MOST Advanced Pressure Imaging system

装置概要と特徴

SemDexは非接触にて、以下の表面形状の計測が可能です。

層厚検査 検査項目 アウトプット
  • 最少 3μm
  • ゆがみ/そり検査
  • フラットネス検査
  • 徴細な凹凸検査
  • 表面粗さ検査
  • 2D画像表示
  • 3Dトポロジー画像表示
  • グラフ表示

検査事例

サブストレイト層厚2D画像
サブストレイト層厚グラフ
ラウンドバンプ3Dトポロジー画像
スクウェアパンプ3Dトポロジー画像

仕様

  SemDex 301 SemDex 310 SemDex 101 SemDex 110
アプリケーション        
層厚 ○(Limited) ○(Limited)
ゆがみ/そり
フラットネス
徴細な凹凸 - -
表面粗さ - -
ウェハー        
直径 6", 8", 12"
(2", 4" OPTION)
2", 4"
最大測定層厚(ファストモード) 350μm 30μm 350μm 30μm
最大測定層厚(スローモード) 1mm 30μm 1mm 30μm
フリップフレームキャリアー - -
2Dステージ        
XY方向最大移動距離 300mm 100mm
最大移動速度 60mm/s 60mm/s
最大垂直方向振れ 2μm/10mm移動 2μm/10mm移動
チャック 全開口(吸引) 全開口(吸引)
オプション        
CCDカメラ
フィルター -
システム        
サイズ 780×1830×870mm³ 410×410×310mm³
(コントロールユニット含まず)
重さ 160KG 6KG
電源 100-240V 100-240V
測定仕様        
最小測定膜厚 3μm 3μm
スポットサイズ 20μm 5μm(最小) 20μm 5μm(最小)
最大サンプリングレート 4KHz 16KHz 4KHz 16KHz
測定精度 0.2μm 0.3μm 0.2μm 0.3μm
繰返し精度(3シグマ) 0.2μm 0.5μm 0.2μm 0.5μm
使用波長(近赤外線) 1300nm 1300nm

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