装置概要と特徴
テラヘルツ近接場走査システムTeraCube Scientificは、自動化されたテラヘルツ近距離走査システムです。Protemics社独自のµプローブTeraSpike近距離マイクロプローブを使用して、平面サンプルを透過した広帯域テラヘルツ波を画像化します。
このシステムは、検出器およびスキャニングシステムを制御することにより、任意の表面トポグラフィーの測定を可能にします。測定条件に応じて適切な仕様のフェムト秒レーザー光源を使用します。
代表的なテラヘルツ近距離伝播による伝播時間測定システムのブロック図。
測定事例
薄膜検査
- a) 直径4インチのシリコン上のグラフェン層でのテラヘルツ近距離透過測定の結果
- b) マークされた領域内の高解像拡大画像。グラフェン透過プロセスから判別される欠陥
- c) マークされた領域のグラフェン層の電荷キャリア移動量ヒストグラム
適用分野
•太陽電池 •グラフェン/ 2D 分布。 •ディスプレイ •曲げることができる電子回路 •半導体 •透明な導体
利点
•シート抵抗イメージング •非接触 •ミクロンスケールの分解能 •広域スキャン •高速スキャン
表面近傍の検査
IC内部の検証
TeraSpike プローブ用に最適化されたソフトウェア パッケージ Teraloc に基づく積層界面と埋め込み構造の位置の特定
- テラヘルツエミッターとディテクターを一体化
- 反射モード測定が可能
- 透過モードでは測定できないテラヘルツが透過しな材料、または厚みのあるサンプルに最適
- スキャナーに載せたサンプルの代わりに、プローブを移動させることで広いスキャン領域に最適
